BMT-2310 Johdatus mikrosysteemitekniikkaan, 5 op
Introduction to Microsystem Technology
Vastuuhenkilö
Mariaana Savia, Pasi Kallio
Opetus
| Toteutuskerta | Periodi | Vastuuhenkilö | Suoritusvaatimukset |
| BMT-2310 2018-01 | 1 - 2 |
Pasi Kallio Mariaana Savia |
Hyväksytysti suoritettu tentti ja harjoitustyöt, seminaarityö (suullinen esitys/kalvot). |
Osaamistavoitteet
Opintojakson suoritettuaan opiskelija osaa - tunnistaa erilaiset mikroskopiamenetelmät, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet - määritellä mitä skaalautumisilmiöllä tarkoitetaan, selittää mihin se perustuu sekä laskea suureiden skaalautumisen mittakaavan muuttuessa - tunnistaa mikroskaalassa käytettävät erilaiset toimilaitteet, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet. - tunnistaa mikroskaalassa käytettävät erilaiset valmistusmenetelmät, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet ja pääkäyttökohteet. - tunnistaa mikroskaalassa käytettävät erilaiset anturit, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet.
Sisältö
| Sisältö | Ydinsisältö | Täydentävä tietämys | Erityistietämys |
| 1. | Mikrosysteemitekniikan määritelmä, mikrosysteemien potentiaali ja haasteet, tärkemimmät mikrosysteemitekniset sovelllukset. | ||
| 2. | Skaalausilmiö: määritelmä, mikä ilmiön aiheuttaa sekä skaalausilmiön vaikutus mikroskaalassa. | Dimensionaalianalyysin ymmärtäminen; mitä se tarkoittaa ja miten sitä voidaan hyödyntää mikrosyteemien yhteydessä. | Analysointi ja vertailu liittyen erilaisten fysikaalisten ilmiöiden skaalautumiseen. |
| 3. | Mikroskopia - erityisesti optinen mikroskopia, atomivoimamikroskopia sekä pyyhkäisyelektronimikroskopia. Eri mikroskooppien toimintaperiaatteet. | Eri mikroskopiamenetelmien etujen ja rajoitusten vertailu. | Sovellukseen sopivan mikroskopiatekniikan valinta. |
| 4. | Kyky toimia ja työskennellä valvottuna puhdastilassa. | Profilometrit karakterisoinnissa. | Muut karakterisointimenetelmät. |
| 5. | Mikrotoimilaiteet - erityisesti pietsosähköiset, muistimetalli-, sähköstaattiset ja termiset toimilaitteet - toimintaperiaatteet. | Mikrotoimilaitteiden erilaisten toteutusten ja suorituskyvyn vertailu. | Toimilaitemateriaalit ja niiden vaikutus toimilaitteiden toimintaan. Mikrorobotiikka mikrotoimiliatteiden sovellusalueena. |
| 6. | Mikroanturit - erityisesti paine-, kiihtyvyys- ja virtausanturit - rakenne ja toimintaperiaate. | Mikroantureiden erilaisten toteutusten ja suorituskyvyn vertailu. | Mikroantureiden valmistustekniikat. |
Ohjeita opiskelijalle osaamisen tasojen saavuttamiseksi
Kurssin arvosana määräytyy tentin ja seminaarityön perusteella. Hallittuaan ydinaineksen hyvin on opiskelijalla mahdollisuus läpäistä kurssi arvosanalla 3. Arvosanan 4 saavuttaakseen opiskelijan on osattava myös täydentävän tietämyksen sarakkeen asioita. Arvosanaan 5 on mahdollisuus, jos täydentävän tietämyksen sarake osataan hyvin tai osataan sen lisäksi myös erityistietämyksen asioita. Jos ydinaineksessa on vähäisiä puutteita, on opiskelijalla mahdollisuus arvosanaan 1 tai 2 riippuen puutteiden määrästä. Jos ydinaineksen hallinnassa on huomattavia puutteita, ei opiskelija läpäise kurssia.
Arvosteluasteikko:
Arvosteluasteikko on numeerinen (0-5)
Oppimateriaali
| Tyyppi | Nimi | Tekijä | ISBN | URL | Lisätiedot | Tenttimateriaali |
| Luentokalvot | Lecture slides on microsystems | Luennoitsijat | Kyllä | |||
| Opintomoniste | Introduction to Microsystem Technology | Pasi Kallio et al. | Kyllä |
Vastaavuudet
| Opintojakso | Vastaa opintojaksoa | Selite |
| BMT-2310 Johdatus mikrosysteemitekniikkaan, 5 op | ASE-2310 Johdatus mikrosysteemitekniikkaan, 5 op |