BMT-2310 Johdatus mikrosysteemitekniikkaan, 5 op
Introduction to Microsystem Technology

Vastuuhenkilö

Mariaana Savia, Pasi Kallio

Opetus

Toteutuskerta Periodi Vastuuhenkilö Suoritusvaatimukset
BMT-2310 2019-01 1 - 2 Pasi Kallio
Mariaana Savia
Jari Väliaho
Hyväksytysti suoritettu tentti ja harjoitustyöt, seminaarityö (suullinen esitys/kalvot).

Osaamistavoitteet

Opintojakson suoritettuaan opiskelija osaa - tunnistaa erilaiset mikroskopiamenetelmät, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet - määritellä mitä skaalautumisilmiöllä tarkoitetaan, selittää mihin se perustuu sekä laskea suureiden skaalautumisen mittakaavan muuttuessa - tunnistaa mikroskaalassa käytettävät erilaiset toimilaitteet, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet. - tunnistaa mikroskaalassa käytettävät erilaiset valmistusmenetelmät, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet ja pääkäyttökohteet. - tunnistaa mikroskaalassa käytettävät erilaiset anturit, selittää niiden toimintaperiaatteet sekä nimetä kunkin vahvuudet ja heikkoudet. - pitää suullisen esityksen opintojakson aiheesta suomeksi - hankkia tietoa opintojakson aiheista tieteellisistä tietokannoista

Sisältö

Sisältö Ydinsisältö Täydentävä tietämys Erityistietämys
1. Mikrosysteemitekniikan määritelmä, mikrosysteemien potentiaali ja haasteet, tärkemimmät mikrosysteemitekniset sovelllukset.     
2. Skaalausilmiö: määritelmä, mikä ilmiön aiheuttaa sekä skaalausilmiön vaikutus mikroskaalassa.  Dimensionaalianalyysin ymmärtäminen; mitä se tarkoittaa ja miten sitä voidaan hyödyntää mikrosyteemien yhteydessä.  Analysointi ja vertailu liittyen erilaisten fysikaalisten ilmiöiden skaalautumiseen. 
3. Mikroskopia - erityisesti optinen mikroskopia, atomivoimamikroskopia sekä pyyhkäisyelektronimikroskopia. Eri mikroskooppien toimintaperiaatteet.  Eri mikroskopiamenetelmien etujen ja rajoitusten vertailu.  Sovellukseen sopivan mikroskopiatekniikan valinta. 
4. Kyky toimia ja työskennellä valvottuna puhdastilassa.  Profilometrit karakterisoinnissa.  Muut karakterisointimenetelmät. 
5. Mikrotoimilaiteet - erityisesti pietsosähköiset, muistimetalli-, sähköstaattiset ja termiset toimilaitteet - toimintaperiaatteet.   Mikrotoimilaitteiden erilaisten toteutusten ja suorituskyvyn vertailu.   Toimilaitemateriaalit ja niiden vaikutus toimilaitteiden toimintaan. Mikrorobotiikka mikrotoimiliatteiden sovellusalueena.  
6. Mikroanturit - erityisesti paine-, kiihtyvyys- ja virtausanturit - rakenne ja toimintaperiaate.   Mikroantureiden erilaisten toteutusten ja suorituskyvyn vertailu.   Mikroantureiden valmistustekniikat.  

Ohjeita opiskelijalle osaamisen tasojen saavuttamiseksi

Kurssin arvosana määräytyy tentin ja seminaarityön perusteella. Hallittuaan ydinaineksen hyvin on opiskelijalla mahdollisuus läpäistä kurssi arvosanalla 3. Arvosanan 4 saavuttaakseen opiskelijan on osattava myös täydentävän tietämyksen sarakkeen asioita. Arvosanaan 5 on mahdollisuus, jos täydentävän tietämyksen sarake osataan hyvin tai osataan sen lisäksi myös erityistietämyksen asioita. Jos ydinaineksessa on vähäisiä puutteita, on opiskelijalla mahdollisuus arvosanaan 1 tai 2 riippuen puutteiden määrästä. Jos ydinaineksen hallinnassa on huomattavia puutteita, ei opiskelija läpäise kurssia.

Arvosteluasteikko:

Arvosteluasteikko on numeerinen (0-5)

Oppimateriaali

Tyyppi Nimi Tekijä ISBN URL Lisätiedot Tenttimateriaali
Luentokalvot   Lecture slides on microsystems   Luennoitsijat         Kyllä   
Opintomoniste   Introduction to Microsystem Technology   Pasi Kallio et al.         Kyllä   



Vastaavuudet

Opintojakso Vastaa opintojaksoa  Selite 
BMT-2310 Johdatus mikrosysteemitekniikkaan, 5 op ASE-2310 Johdatus mikrosysteemitekniikkaan, 5 op  

Päivittäjä: Kunnari Jaana, 05.03.2019