Opintojakson vastuuhenkilö
Pekka Heino

Opettajat
Pekka Heino, akatemiatutkija, pekka.heino@tut.fi, puh. 3348, SM322

Luentoajat ja -paikat
Per V: Keskiviikko 9 - 12, SM221

Toteutuskerrat
Toteutus 1

	Periodi 1	Periodi 2	Periodi 3	Periodi 4	Periodi 5	Kesä	Opetuskieli
Luento	-	-	-	-	3 h/vko	-	Vain suomeksi
Harjoitustyö	-	-	-	-	28 h/per	-	Vain suomeksi
Tentti							Suomeksi, pyydettäessä englanniksi

(Lukuvuoden 2005-2006 aikataulu)

Tavoitteet
Opiskelija ymmärtää yleisimpien mikroelektromekaanisten komponenttien toimintaperiaatteet.

Sisältö

Sisältöalue	Ydinaines	Täydentävä tietämys	Erityistietämys
1.	Toimilaitteiden toimintaperiaatteet eli fysikaaliset aktuaatiomekanismit.	Vuorovaikutusten suuruus, lineaarisuus ja skaalautuminen mittojen mukaan.
2.	MEMS valmistustekniikat. Tekniikoiden perusperiaatteet.	Käytettävät materiaalit eri tilanteissa. Valmistustekniikoiden soveltuvuus.	Valmistusprosessin vaiheiden ajoitus- ja mitoistus.
3.	Efektiivisten parametrien merkitys ja käyttö taipuvissa ja värähtelevissä MEMSseissä.	Efektiivisten parametrien laskemisen periaatteet mielivaltaiselle rakenteelle.	Laskennallinen mallintaminen.

Suoritusvaatimukset
Hyväksytysti suoritettu tentti. Lisäksi harjoitustyö tai seminaariesitys.

Opintojakson arviointikriteerit
Ydinaineksen ja täydentävän tietämyksen hallinta tentissä. Erityistietämys -kohdassa mainittuja asioita ei kurssilla käsitellä eikä kysytä. Harjoitustyön tai seminaariesitelmän jäsentely, kattavuus, loogisuus ja vaadittu pituus.

Huomautuksia
Sisällöltään vaihtuva kurssi. Tämä kuvaus vastaa kevään 2006 tilannetta.

Lisätietoja
Vaihtuva kurssi. Kuvaus kevään 2006 tilanteen mukaan.

Opintojaksokorvaavuus
74371 Mikroelektroniikan erityiskysymyksiä

Opintojakson kotisivu

Viimeksi muokattu	22.02.2005
Muokkaaja	Katja Laine