Opinto-opas 2005-2006

MIT-4030 MIKROANTURIT, 5 op
Microsensors

Opintojakson vastuuhenkilö
Jukka Lekkala

Opettajat
Jukka Lekkala, professori, Sh217

Luentoajat ja -paikat
Per I,II: Keskiviikko 8 - 10, SH108

Toteutuskerrat
Toteutus 1
  Periodi 1 Periodi 2 Periodi 3 Periodi 4 Periodi 5 Kesä Opetuskieli
Luento 2 h/vko+ 2 h/vko - - - - Vain suomeksi
Harjoitus 2 h/vko+ 1 h/vko - - - - Vain suomeksi
Seminaari - 1 h/vko - - - - Vain suomeksi
Tentti   Vain suomeksi
(Lukuvuoden 2005-2006 aikataulu)

Tavoitteet
Anturitekniikan syventävä opintojakso, jossa perehdytään mikroantureihin, niiden valmistukseen ja sovellutuksiin.

Sisältö
Sisältöalue Ydinaines Täydentävä tietämys Erityistietämys
1. Anturien periaatteet ja jaottelu, signaalien jako energiatyypin mukaan, integroidut anturit, mikroanturien suunnitteluperiaatteet  Fysikaaliset ja kemialliset ilmiöt kiinteissä materiaaleissa, kohinan synty ja kohinatyypit  Mallinnusohjelmat (FEMLAB) 
2. Anturimateriaalit ja valmistusteknologiat, ohut- ja paksokalvotekniikat, piin prosessointitekniikat, fotolitografian periaatteet, piin mikromekaniikka, anturien kotelointi.  Piin kiderakenne ja ominaisuudet, prosessointilaitteiden periaatteet, mikroelektroniikan komponentit (diodi, transistori, FET)    
3. Lämpötila-anturit, Seebeck'in ilmiö metalleissa ja puolijohteissa, termistorit, diodi ja transistori lämpötila-anturina.
Säteilyanturit, valovastus, fotodiodi, pyrosähköiset anturit.
Paineanturit, pietsoresistiivinen kalvoanturi, kapasitiivinen ja resonanssianturi. 		 Säteilyn ja materiaalin vuorovaikutus    
4. Inertia-anturit, kiihtyvyysanturi, gyro. Virtausanturit. Magneettikentän anturit, Hall-anturi, magnetoresistiiviset anturit. Kemialliset anturit, ioniselektiiviset anturit, kaasuanturit.  Mikrofluidistiikka    
5. Anturien kotelointi ja pakkaaminen. Mikroanturien sovelluksia. Esimerkkejä kaupallisista antureista.  Mikroelektroniikan pakkausmenetelmät    

Suoritusvaatimukset
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset/seminaariesitelmä ja tentti.

Opintojakson arviointikriteerit
Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus ja hyväksytty seminaariesitelmä määräävät kurssin arvosanan

  • Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)

    • Oppimateriaali
    Tyyppi Nimi Tekijä ISBN URL,painos,saatavuus... Tenttimateriaali Kieli
    Opintomoniste Mikroanturit 2002 Jouko Halttunen   PDF-dokumenttina kurssin verkkosivuilla Kyllä  Suomi 
    Luentokalvot Mikroanturit Jukka Lekkala   PDF-dokumenttina kurssin verkkosivuilla Kyllä  Suomi 
    Kirja Microsensors - Principles and Applications Julian W. Gardner   ISBN 0 471 94135 2 Ei ole  Englanti 

    Esitiedot
    Tunnus Nimi OP P/S
    MIT-4010 Anturifysiikka 7 Suositeltava

    Huomautuksia

  • Opintojakson osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan.
  • Opintojakso soveltuu jatko-opinnoiksi.

    • Opintojaksokorvaavuus
    7504020 Mikroanturit

    Opintojakson kotisivu

    Viimeksi muokattu 04.03.2005
    MuokkaajaHeikki Jokinen