TTKK Opinto-opas
2806120 Ohutkalvotekniikat, 2 ov
Thin Film Technology, 2 cu
TkT PETRI VUORISTO
Luentoja 21 h. Harjoituksia 14 h sisältäen seminaariharjoituksen ja tutustumiskäyntejä alan yrityksiin.
| Viikottainen Opetus / Periodi |
S1 | S2 | K1 | K2 | Kesä |
|---|
| Luennot (h) | - | - |
3 | - | - |
|---|
| Harjoitukset (h) | - | - |
2 | - | - |
|---|
Luentoaika ja -paikka
To 13-16 K3104
Tavoitteet
Antaa perustiedot moderneista ohutpinnoitteiden valmistustekniikoista.
Sisältö
Ohutpinnoitteiden rakenteet, ominaisuudet ja käyttökohteet.
Valmistustekniikat; kaasufaasimenetelmät: CVD, PVD ja ionisuihkutekniikat, eri menetelmien
perusteet, tyhjötekniikka, menetelmämuunnokset.
Tutkintovaatimukset
Hyväksytysti suoritettu kirjallinen tentti luentojen ja harjoitusten
sisällöstä.
Kirjallisuus
Luentomoniste.