2806120
OHUTKALVOTEKNIIKAT,
THIN FILM TECHNOLOGY, 2 ov
Tietoa luennoitsijoista
Professori PETRI VUORISTO
Luentoja ja harjoituksia
Luentoja yhteensä 21h. Harjoituksia yhteensä 14h sisältäen seminaariesitelmät, yritysvierailuja ja pinnoitusdemonstraatioita.
Luentoajat ja -paikat
Perjantai 9 - 12, K3441 (M)
Viikottainen opetus/periodi |
|
|
|
|
|
Luennot (h): |
- |
- |
3 |
- |
- |
Harjoitukset (h): |
- |
- |
1 |
- |
- |
Tavoitteet
Antaa perustiedot moderneista ohutpinnoitteiden valmistustekniikoista.
Sisältö
Ohutpinnoitteiden rakenteet, ominaisuudet ja käyttökohteet. Valmistustekniikat; kaasufaasimenetelmät: CVD, PVD ja ionisuihkutekniikat, eri menetelmien perusteet, tyhjötekniikka, menetelmämuunnokset.
Tutkintovaatimukset
Hyväksytysti suoritettu kirjallinen tentti luentojen ja harjoitusten sisällöstä. Pakolliset harjoitukset. Henkilökohtainen seminaariesitelmä.
Kirjallisuus
Luentomoniste.