Opintojaksot  
|Tutkinnot| |Opintokokonaisuudet| |Kaikki| |Jatko| |KV|

Opinto-opas 2007-2008

MIT-4050 PIIANTURIEN SUUNNITTELU, 7-8 op
Design of Silicon Sensors

Opintojakson vastuuhenkilö
Jukka Lekkala

Opettajat
Jukka Lekkala

Luentoajat ja -paikat
Per IV: Perjantai 9 - 12, SH108
Per V: Perjantai 9 - 11, SH108

Toteutuskerrat
  Periodi 1 Periodi 2 Periodi 3 Periodi 4 Periodi 5 Kesä
Luento - - - 3 h/vko 2 h/vko -
Harjoitus - - - 2 h/vko 3 h/vko -
Tentti  
(Lukuvuoden 2007-2008 aikataulu)

Tavoitteet
Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.

Sisältö
Sisältöalue Ydinaines Täydentävä tietämys Erityistietämys
1. Mikro- ja MEMS-rakenteet, suunnittelu- ja mallinnusperiaatteet, anturien mallinnus- ja simulointimenetelmät, mallinnusohjelmien käyttö  Comsol Multiphysics -mallinnusohjelmisto    
2. Pii anturimateriaalina, piianturien valmistusmenetelmät ja -prosessit, kalvonkasvatusmenetelmät, fotolitografia, märkä- ja kuivaetsaus, esimerkkejä valmistusprosesseista       
3. Erilliskomponenttimalli, energiamenetelmät, kaksiporttiteoria, dynaamiset mallit, elastiset rakenteet mikromekaanisissa piiantureissa, jäännösjännitys, häviöt  Sähkömagneettisten kenttien teoria    
4. Sähköinen, terminen ja magneettinen heräte. Mittauskytkennät, lukuelektroniikka ja kohina.       
5. Esimerkkiantureita, pietsoresistiivinen paineanturi, kapasitiivinen kiihtyvyysanturi, pietsosähköinen gyroskooppi, mikrosiltaan perustuva kaasuanturi.       

Suoritusvaatimukset
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset ja tentti (7 op) sekä harjoitustyö (+ 1 op).

Opintojakson arviointikriteerit

  • Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus määräävät opintojakson arvosanan. Hyväksytty harjoitustyö +1 op.

  • Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)

  • Oppimateriaali
    Tyyppi Nimi Tekijä ISBN URL Painos,saatavuus... Tenttimateriaali Kieli
    Kirja Microsystem Design Stephen D. Senturia 0-7923-7246-8   Kluwer Academic Publishers, 2001 Kyllä  Englanti 
    Luentokalvot Piianturien suunnittelu Jukka Lekkala 1-58488-306-5   www.mit.tut.fi/MIT-4050/ Kyllä  Englanti 
    Kirja Modeling MEMS and NEMS John A. Pelesko, David H. Bernstein     CRC Press, 2002 Ei ole  Englanti 
    Kirja Micromechanical Sensors Miko Elwenspoek, Remco J. Wiegerink 3540675825   Springer Verlag, 2001 Ei ole  Englanti 

    Esitiedot
    Tunnus Nimi OP P/S
    MIT-1010 MIT-1010 Mittaustekniikka 5 Suositeltava
    MIT-4010 MIT-4010 Anturifysiikka 7 Suositeltava
    MIT-4030 MIT-4030 Mikroanturit 5 Suositeltava

    Esitietoketju (Vaatii kirjautumisen TTY Intranetiin)

    Huomautuksia

  • Opintojakson osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan.

  • Opintojakso soveltuu jatko-opinnoiksi.

  • Tieto- ja viestintätekniikan (TVT) käyttö opetuksessa

  • Opintojaksolla hyödynnetyt tieto- ja viestintätekniikat
  • - tiedottamisessa kotisivuilla, uutisryhmissä tai s-postilistoilla esim. ajankohtaiset asiat, aikataulut
    - harjoitus-, ryhmä- tai laboratoriotöiden työstämisessä
    - harjoitustöiden, materiaalin jne. jakelussa ja/tai palauttamisessa
    - asioiden ja ilmiöiden havainnollistamisessa esim. animaatiot, demot, simulaatiot, videoleikkeet

  • Arvioitu opintojakson toteutustapa
  • - Lähiopetuksen osuus: 70 %
    - Etäopetuksen osuus: 0 %
    - Opiskelijan itseopiskelun osuus: 30 %

    Mitoitus
    OpetusmuodotTuntia
    Luennot 45
    Harjoitukset 75
    Harjoitustyöt 26

    Oppimateriaali Tuntia
    Luentokalvot 17
    Microsystem Design 45

    Muu mitoitettuTuntia
    Tentti/välikokeet 3
    Kaikki yhteensä 211

    Opintojakson opetukseen ja oppimiseen liittyvät periaatteet ja lähtökohdat

  • Opetus perustuu luentoihin, lasku- ja laboratorioharjoituksiin sekä vapaaehtoiseen suunnittelu/mallinnustyöhön.

  • Opintojaksokorvaavuus
    7504030 Piianturien suunnittelu

    Opintojakson kotisivu

    Viimeksi muokattu 05.03.2007
    MuokkaajaHeikki Jokinen