| Opintojaksot | |||||
| |Tutkinnot| | |Opintokokonaisuudet| | |Kaikki| | |Jatko| | |KV| | |
|
|
|
|||||||||||
MIT-4050 PIIANTURIEN SUUNNITTELU, 7-8 op
|
Opintojakson vastuuhenkilö
Jukka Lekkala
Opettajat
Jukka Lekkala
Luentoajat ja -paikat
Per IV: Perjantai 9 - 12, SH108
Per V: Perjantai 9 - 11, SH108
Toteutuskerrat
| Periodi 1 | Periodi 2 | Periodi 3 | Periodi 4 | Periodi 5 | Kesä | |
| Luento | - | - | - | 3 h/vko | 2 h/vko | - |
| Harjoitus | - | - | - | 2 h/vko | 3 h/vko | - |
| Tentti | ||||||
Tavoitteet
Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.
Sisältö
| Sisältöalue | Ydinaines | Täydentävä tietämys | Erityistietämys |
| 1. | Mikro- ja MEMS-rakenteet, suunnittelu- ja mallinnusperiaatteet, anturien mallinnus- ja simulointimenetelmät, mallinnusohjelmien käyttö | Comsol Multiphysics -mallinnusohjelmisto | |
| 2. | Pii anturimateriaalina, piianturien valmistusmenetelmät ja -prosessit, kalvonkasvatusmenetelmät, fotolitografia, märkä- ja kuivaetsaus, esimerkkejä valmistusprosesseista | ||
| 3. | Erilliskomponenttimalli, energiamenetelmät, kaksiporttiteoria, dynaamiset mallit, elastiset rakenteet mikromekaanisissa piiantureissa, jäännösjännitys, häviöt | Sähkömagneettisten kenttien teoria | |
| 4. | Sähköinen, terminen ja magneettinen heräte. Mittauskytkennät, lukuelektroniikka ja kohina. | ||
| 5. | Esimerkkiantureita, pietsoresistiivinen paineanturi, kapasitiivinen kiihtyvyysanturi, pietsosähköinen gyroskooppi, mikrosiltaan perustuva kaasuanturi. |
Suoritusvaatimukset
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset ja tentti (7 op) sekä harjoitustyö (+ 1 op).
Opintojakson arviointikriteerit
Oppimateriaali
| Tyyppi | Nimi | Tekijä | ISBN | URL | Painos,saatavuus... | Tenttimateriaali | Kieli |
| Kirja | Microsystem Design | Stephen D. Senturia | 0-7923-7246-8 | Kluwer Academic Publishers, 2001 | Kyllä | Englanti | |
| Luentokalvot | Piianturien suunnittelu | Jukka Lekkala | 1-58488-306-5 | www.mit.tut.fi/MIT-4050/ | Kyllä | Englanti | |
| Kirja | Modeling MEMS and NEMS | John A. Pelesko, David H. Bernstein | CRC Press, 2002 | Ei ole | Englanti | ||
| Kirja | Micromechanical Sensors | Miko Elwenspoek, Remco J. Wiegerink | 3540675825 | Springer Verlag, 2001 | Ei ole | Englanti |
Esitiedot
| Tunnus | Nimi | OP | P/S |
| MIT-1010 | MIT-1010 Mittaustekniikka | 5 | Suositeltava |
| MIT-4010 | MIT-4010 Anturifysiikka | 7 | Suositeltava |
| MIT-4030 | MIT-4030 Mikroanturit | 5 | Suositeltava |
Esitietoketju (Vaatii kirjautumisen TTY Intranetiin)
Huomautuksia
Tieto- ja viestintätekniikan (TVT) käyttö opetuksessa
- tiedottamisessa kotisivuilla, uutisryhmissä tai s-postilistoilla esim. ajankohtaiset asiat, aikataulut
- harjoitus-, ryhmä- tai laboratoriotöiden työstämisessä
- harjoitustöiden, materiaalin jne. jakelussa ja/tai palauttamisessa
- asioiden ja ilmiöiden havainnollistamisessa esim. animaatiot, demot, simulaatiot, videoleikkeet
- Lähiopetuksen osuus: 70 %
- Etäopetuksen osuus: 0 %
- Opiskelijan itseopiskelun osuus: 30 %
| Opetusmuodot | Tuntia |
| Luennot | 45 |
| Harjoitukset | 75 |
| Harjoitustyöt | 26 |
| Oppimateriaali | Tuntia |
| Luentokalvot | 17 |
| Microsystem Design | 45 |
| Muu mitoitettu | Tuntia |
| Tentti/välikokeet | 3 |
| Kaikki yhteensä | 211 |
Opintojakson opetukseen ja oppimiseen liittyvät periaatteet ja lähtökohdat
Opintojaksokorvaavuus
7504030 Piianturien suunnittelu
| Viimeksi muokattu | 05.03.2007 |
| Muokkaaja | Heikki Jokinen |