Opinto-opas 2008-2009 Perus Perus Pori KV Jatko Avoin |Tutkinnot|     |Opintokokonaisuudet|     |Opintojaksot|

Opintojakson vastuuhenkilö

Jukka Lekkala

Toteutuskerrat

	Luentoajat ja -paikat	Kohderyhmä, jolle suositellaan
Toteutus 1	Per 1, 2 : Torstai 8 - 13, SH108 Per 2 : Perjantai 9 - 11, SH108	Automaatiotekniikan koulutusohjelma Biotekniikan koulutusohjelma Jatko-opiskelijat Konetekniikan koulutusohjelma Sähkötekniikan koulutusohjelma Teknis-luonnontieteellinen koulutusohjelma Tietoliikenne-elektroniikan koulutusohjelma

Suoritusvaatimukset

Hyväksytysti suoritetut harjoitukset/seminaariesitelmä ja tentti.
Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan

Opetukseen ja oppimiseen liittyvät periaatteet ja lähtökohdat

-

Tavoitteet

Anturitekniikan syventävä opintojakso, jossa perehdytään mikroantureihin, niiden valmistukseen ja sovellutuksiin.

Sisältö

Sisältöalue	Ydinaines	Täydentävä tietämys	Erityistietämys
1.	Anturien periaatteet ja jaottelu, signaalien jako energiatyypin mukaan, integroidut anturit, mikroanturien suunnitteluperiaatteet	Fysikaaliset ja kemialliset ilmiöt kiinteissä materiaaleissa, kohinan synty ja kohinatyypit	Mallinnusohjelmat (esim. Comsol Multiphysics)
2.	Anturimateriaalit ja valmistusteknologiat, ohut- ja paksokalvotekniikat, piin prosessointitekniikat, fotolitografian periaatteet, piin mikromekaniikka, anturien kotelointi.	Piin kiderakenne ja ominaisuudet, prosessointilaitteiden periaatteet, mikroelektroniikan komponentit (diodi, transistori, FET)
3.	Lämpötila-anturit, Seebeck'in ilmiö metalleissa ja puolijohteissa, termistorit, diodi ja transistori lämpötila-anturina. Säteilyanturit, valovastus, fotodiodi, pyrosähköiset anturit. Paineanturit, pietsoresistiivinen kalvoanturi, kapasitiivinen ja resonanssianturi.	Säteilyn ja materiaalin vuorovaikutus
4.	Inertia-anturit, kiihtyvyysanturi, gyro. Virtausanturit. Magneettikentän anturit, Hall-anturi, magnetoresistiiviset anturit. Kemialliset anturit, ioniselektiiviset anturit, kaasuanturit.	Mikrofluidistiikka
5.	Anturien kotelointi ja pakkaaminen. Mikroanturien sovelluksia. Esimerkkejä kaupallisista antureista.	Mikroelektroniikan pakkausmenetelmät

Opintojakson arvostelu

Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus ja hyväksytty seminaariesitelmä määräävät opintojakson arvosanan

Arvosteluasteikko:

Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)

Osasuoritukset:

Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan

Oppimateriaali

Tyyppi	Nimi	Tekijä	ISBN	URL	Painos,saatavuus...	Tenttimateriaali	Kieli
Kirja	Microsensors - Principles and Applications	Julian W. Gardner	ISBN 0 471 94135 2				Englanti
Luentokalvot	Mikroanturit	Jukka Lekkala			PDF-dokumenttina opintojakson verkkosivuilla		Suomi
Opintomoniste	Mikroanturit 2002	Jouko Halttunen			PDF-dokumenttina opintojakson verkkosivuilla		Suomi

Esitietovaatimukset

Vastaavuudet

Tarkempia tietoja toteutuskerroittain

	Kuvaus	Opetusmuodot	Toteutustapa
Toteutus 1	Anturitekniikan syventävä opintojakso, jossa perehdytään mikroantureihin, niiden valmistukseen ja sovellutuksiin.	Luennot Seminaarityöt Harjoitukset	Lähiopetus: 0 % Etäopetus: 0 % Itseopiskelu: 0 %

Viimeksi muokattu	13.08.2008
Muokkaaja	Heikki Jokinen