|
MIT-4030 Mikroanturit, 5 op
|
Jukka Lekkala
Luentoajat ja -paikat | Kohderyhmä, jolle suositellaan | |
Toteutus 1 |
|
Automaatiotekniikan koulutusohjelma
Biotekniikan koulutusohjelma Jatko-opiskelijat Konetekniikan koulutusohjelma Signaalinkäsittelyn ja tietoliikennetekniikan koulutusohjelma Sähkötekniikan koulutusohjelma Teknis-luonnontieteellinen koulutusohjelma |
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset, seminaariesitelmä, seminaarityö ja tentti.
Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan
-
Anturitekniikan syventävä opintojakso, jossa perehdytään mikroantureihin, niiden valmistukseen, toimintaperiaatteisiin ja sovellutuksiin.
Sisältö | Ydinaines | Täydentävä tietämys | Erityistietämys |
1. | Anturien periaatteet ja jaottelu, signaalien jako energiatyypin mukaan, integroidut anturit, mikroanturien suunnitteluperiaatteet | Fysikaaliset ja kemialliset ilmiöt kiinteissä materiaaleissa, kohinan synty ja kohinatyypit | Mallinnusohjelmat (esim. Comsol Multiphysics) |
2. | Anturimateriaalit ja valmistusteknologiat, ohut- ja paksokalvotekniikat, piin prosessointitekniikat, fotolitografian periaatteet, piin mikromekaniikka, anturien kotelointi. | Piin kiderakenne ja ominaisuudet, prosessointilaitteiden periaatteet, mikroelektroniikan komponentit (diodi, transistori, FET) | |
3. | Lämpötila-anturit, Seebeck'in ilmiö metalleissa ja puolijohteissa, termistorit, diodi ja transistori lämpötila-anturina. Säteilyanturit, valovastus, fotodiodi, pyrosähköiset anturit. Paineanturit, pietsoresistiivinen kalvoanturi, kapasitiivinen ja resonanssianturi. | Säteilyn ja materiaalin vuorovaikutus | |
4. | Inertia-anturit, kiihtyvyysanturi, gyro. Virtausanturit. Magneettikentän anturit, Hall-anturi, magnetoresistiiviset anturit. Kemialliset anturit, ioniselektiiviset anturit, kaasuanturit. | Mikrofluidistiikka | |
5. | Anturien kotelointi ja pakkaaminen. Mikroanturien sovelluksia. Esimerkkejä kaupallisista antureista. | Mikroelektroniikan pakkausmenetelmät |
Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus ja hyväksytty seminaariesitelmä/raportti määräävät opintojakson arvosanan
Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)
Tyyppi | Nimi | Tekijä | ISBN | URL | Painos,saatavuus... | Tenttimateriaali | Kieli |
Kirja | Microsensors - Principles and Applications | Julian W. Gardner | ISBN 0 471 94135 2 | Englanti | |||
Luentokalvot | Mikroanturit | Jukka Lekkala | PDF-dokumenttina opintojakson verkkosivuilla | Suomi | |||
Opintomoniste | Mikroanturit 2002 | Jouko Halttunen | PDF-dokumenttina opintojakson verkkosivuilla | Suomi |
Opintojakso | P/S | Selite |
MIT-4010 Anturifysiikka | Suositeltava |
Tietoa esitietovaatimuksista
Elektroniikan opinnot suositeltavia.
Opintojakso | Vastaa opintojaksoa | Selite |
|
|
|
|
|
|
|
|
Kuvaus | Opetusmuodot | Toteutustapa | |
Toteutus 1 | Anturitekniikan syventävä opintojakso, jossa perehdytään mikroantureihin, niiden valmistukseen, toimintaperiaatteisiin ja sovellutuksiin. | Luennot Seminaarityöt Harjoitukset |
Lähiopetus: 0 % Etäopetus: 0 % Itseopiskelu: 0 % |