Opinto-opas 2009-2010 |
|||||
| Perus | Pori | KV | Jatko | Avoin | |
|
|
|
|||||||||||||||||
MIT-4050 Piianturien suunnittelu, 7 op
|
Jukka Lekkala
| Luentoajat ja -paikat | Kohderyhmä, jolle suositellaan | |
| Toteutus 1 |
|
Automaatiotekniikan koulutusohjelma
Jatko-opiskelijat Konetekniikan koulutusohjelma Sähkötekniikan koulutusohjelma |
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset ja tentti (7 op) sekä vapaaehtoinen harjoitustyö (+ 1 op).
Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan
-
Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.
| Sisältö | Ydinaines | Täydentävä tietämys | Erityistietämys |
| 1. | Mikro- ja MEMS-rakenteet, suunnittelu- ja mallinnusperiaatteet, anturien mallinnus- ja simulointimenetelmät, mallinnusohjelmien käyttö | Comsol Multiphysics -mallinnusohjelmisto | |
| 2. | Pii anturimateriaalina, piianturien valmistusmenetelmät ja -prosessit, kalvonkasvatusmenetelmät, fotolitografia, märkä- ja kuivaetsaus, esimerkkejä valmistusprosesseista | ||
| 3. | Erilliskomponenttimalli, energiamenetelmät, kaksiporttiteoria, dynaamiset mallit, elastiset rakenteet mikromekaanisissa piiantureissa, jäännösjännitys, häviöt | Sähkömagneettisten kenttien teoria | |
| 4. | Sähköinen, terminen ja magneettinen heräte. Mittauskytkennät, lukuelektroniikka ja kohina. | ||
| 5. | Esimerkkiantureita, pietsoresistiivinen paineanturi, kapasitiivinen kiihtyvyysanturi, pietsosähköinen gyroskooppi, mikrosiltaan perustuva kaasuanturi. |
Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus määräävät opintojakson arvosanan. Hyväksytty harjoitustyö +1 op.
Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)
| Tyyppi | Nimi | Tekijä | ISBN | URL | Painos,saatavuus... | Tenttimateriaali | Kieli |
| Kirja | Micromechanical Sensors | Miko Elwenspoek, Remco J. Wiegerink | 3540675825 | Springer Verlag, 2001 | Englanti | ||
| Kirja | Microsystem Design | Stephen D. Senturia | 0-7923-7246-8 | Kluwer Academic Publishers, 2001 | Englanti | ||
| Kirja | Modeling MEMS and NEMS | John A. Pelesko, David H. Bernstein | CRC Press, 2002 | Englanti | |||
| Luentokalvot | Piianturien suunnittelu | Jukka Lekkala | 1-58488-306-5 | www.mit.tut.fi/MIT-4050/ | Englanti |
| Opintojakso | P/S | Selite |
| MIT-1010 Mittaustekniikka | Suositeltava | |
| MIT-4010 Anturifysiikka | Suositeltava | |
| MIT-4030 Mikroanturit | Suositeltava |
Tietoa esitietovaatimuksista
Esitietoina vaaditaan Matlab-ohjelman perusteiden hallitseminen.
| Opintojakso | Vastaa opintojaksoa | Selite |
|
|
|
|
|
|
|
Vastaavuus 1 = 1 |
|
|
|
|
|
|
|
| Kuvaus | Opetusmuodot | Toteutustapa | |
| Toteutus 1 | Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin. | Luennot Harjoitukset Harjoitustyöt |
Lähiopetus: 0 % Etäopetus: 0 % Itseopiskelu: 0 % |