Opinto-opas 2010-2011 Perus Perus Pori KV Jatko Avoin |Tutkinnot|     |Opintokokonaisuudet|     |Opintojaksot|

Opinto-opas 2010-2011

MIT-4051 Piianturien suunnittelu, 8-9 op Design of Silicon Sensors

Vastuuhenkilö

Jukka Lekkala

Opetus

Opetusmuoto	P1	P2	P3	P4	Kesä	Toteutuskerrat	Luentoajat ja -paikat
Luennot Harjoitukset Harjoitustyöt Laboratoriotyö			3 h/vko  2 h/vko  3 h/per	+2 h/vko +3 h/vko  12 h/per +3 h/per		MIT-4051 2010-01	Perjantai 9 - 12, SH108

Suoritusvaatimukset

Hyväksytysti suoritetut harjoitukset, laboratoriotyöt ja tentti (8 op) sekä vapaaehtoinen harjoitustyö (+ 1 op).
Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan

Osaamistavoitteet

Opintojakson suoritettuaan opiskelija ymmärtää mikro- ja MEMS-antureiden suunnittelu- ja mallinnusperiaatteet. Hän tuntee pääpiirteiltään mikroanturien valmistusmenetelmät ja -prosessit ja osaa hyödyntää tietoa suunnittelussa. Hän tuntee yleisimmät mallinnustavat ja osaa soveltaa niitä. Hän osaa käyttää erilaisia mallinnus- ja simulointiohjelmia. Opiskelija osaa luetella esimerkkejä erilaisista mikroantureista, niiden suunnitteluperusteista ja niiden sovellusalueista.

Sisältö

Sisältö	Ydinaines	Täydentävä tietämys	Erityistietämys
1.	Mikro- ja MEMS-rakenteet, suunnittelu- ja mallinnusperiaatteet, anturien mallinnus- ja simulointimenetelmät, mallinnusohjelmien käyttö	Comsol Multiphysics -mallinnusohjelmisto
2.	Pii anturimateriaalina, piianturien valmistusmenetelmät ja -prosessit, kalvonkasvatusmenetelmät, fotolitografia, märkä- ja kuivaetsaus, esimerkkejä valmistusprosesseista
3.	Erilliskomponenttimalli, energiamenetelmät, kaksiporttiteoria, dynaamiset mallit, elastiset rakenteet mikromekaanisissa piiantureissa, jäännösjännitys, häviöt	Sähkömagneettisten kenttien teoria
4.	Sähköinen, terminen ja magneettinen heräte. Mittauskytkennät, lukuelektroniikka ja kohina.
5.	Esimerkkiantureita, pietsoresistiivinen paineanturi, kapasitiivinen kiihtyvyysanturi, pietsosähköinen gyroskooppi, mikrosiltaan perustuva kaasuanturi.

Opintojakson arvostelu

Kurssin arvosana määräytyy tentin perusteella. Hallittuaan ydinaineksen hyvin on opiskelijalla mahdollisuus läpäistä kurssi arvosanalla 3. Arvosanan 4 tai 5 saavuttaakseen opiskelijan on osattava myös täydentävän tietämyksen sarakkeen asioita. Jos ydinaineksessa on vähäisiä puutteita, on opiskelijalla mahdollisuus arvosanaan 1 tai 2 riippuen puutteiden määrästä. Harjoituksissa osoitettu aktiivisuus antaa mahdollisuuden lisäpisteisiin tenttiarvostelussa tai arvosanan korotukseen. Jos ydinaineksen hallinnassa on huomattavia puutteita, ei opiskelija läpäise kurssia. Erikseen sovittavalla ja arvosteltavalla erikoistyöllä on mahdollista korottaa kurssin opintopisteitä yhdellä

Arvosteluasteikko:

Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)

Osasuoritukset:

Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan

Oppimateriaali

Tyyppi	Nimi	Tekijä	ISBN	URL	Painos,saatavuus...	Tenttimateriaali	Kieli
Kirja	Micromechanical Sensors	Miko Elwenspoek, Remco J. Wiegerink	3540675825		Springer Verlag, 2001		Englanti
Kirja	Microsystem Design	Stephen D. Senturia	0-7923-7246-8		Academic Publishers, 2001		Englanti
Kirja	Modeling MEMS and NEMS	John A. Pelesko, David H. Bernstein			CRC Press, 2002		Englanti
Luentokalvot	Design of Silicon Sensors	Jukka Lekkala					Englanti

Esitietovaatimukset

Opintojakso	P/S	Selite
MIT-1010 Mittaustekniikka	Suositeltava
MIT-4010 Anturifysiikka	Suositeltava
MIT-4031 Mikroanturit	Suositeltava

Esitietoketju (Vaatii kirjautumisen POPiin)

Vastaavuudet

Opintojakso	Vastaa opintojaksoa	Selite
MIT-4051 Piianturien suunnittelu, 8-9 op	MIT-4050 Piianturien suunnittelu, 7-8 op

Lisätiedot

Soveltuu jatko-opinnoiksi

Tarkempia tietoja toteutuskerroittain

Toteutus	Kuvaus	Opetusmuodot	Toteutustapa
MIT-4051 2010-01	Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.

Viimeksi muokattu

27.12.2010