|
|
MIT-4050 PIIANTURIEN SUUNNITTELU, 7-8 op
|
Opintojakson vastuuhenkilö
Jukka Lekkala
Opettajat
Jukka Lekkala, professori, Sh217
Toteutuskerrat
Toteutus 1
| Periodi 1 | Periodi 2 | Periodi 3 | Periodi 4 | Periodi 5 | Kesä | Opetuskieli | |
| Luento | - | - | 3 h/vko+ | 2 h/vko | - | - | Vain suomeksi |
| Harjoitus | - | - | 2 h/vko+ | 3 h/vko | - | - | Vain suomeksi |
| Tentti | Suomeksi, pyydettäessä englanniksi | ||||||
| Harjoitustyö | Yhteensä: 26 h | ||||||
Tavoitteet
Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.
Sisältö
| Sisältöalue | Ydinaines | Täydentävä tietämys | Erityistietämys |
| 1. | Mikro- ja MEMS-rakenteet, suunnittelu- ja mallinnusperiaatteet, anturien mallinnus- ja simulointimenetelmät, mallinnusohjelmien käyttö | ||
| 2. | Pii anturimateriaalina, piianturien valmistusmenetelmät ja -prosessit, kalvonkasvatusmenetelmät, fotolitografia, märkä- ja kuivaetsaus, esimerkkejä valmistusprosesseista | ||
| 3. | Erilliskomponenttimalli, energiamenetelmät, kaksiporttiteoria, dynaamiset mallit, elastiset rakenteet mikromekaanisissa piiantureissa, jäännösjännitys, häviöt | Sähkömagneettisten kenttien teoria | |
| 4. | Sähköinen, terminen ja magneettinen heräte. Mittauskytkennät, lukuelektroniikka ja kohina. | ||
| 5. | Esimerkkiantureita, pietsoresistiivinen paineanturi, kapasitiivinen kiihtyvyysanturi, pietsosähköinen gyroskooppi, mikrosiltaan perustuva kaasuanturi. |
Suoritusvaatimukset
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset ja tentti (7 op) sekä harjoitustyö (+ 1 op).
Opintojakson arviointikriteerit
Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus määräävät kurssin arvosanan. Hyväksytty harjoitustyö +1 op.
Oppimateriaali
| Tyyppi | Nimi | Tekijä | ISBN | URL,painos,saatavuus... | Tenttimateriaali | Kieli |
| Kirja | Microsystem Design | Stephen D. Senturia | Kluwer Academic Publishers, 2001 | Kyllä | Englanti | |
| Luentokalvot | Piianturien suunnittelu | Jukka Lekkala | www.mit.tut.fi/MIT-4050/ | Kyllä | Englanti | |
| Kirja | Modeling MEMS and NEMS | John A. Pelesko, David H. Bernstein | CRC Press, 2002 | Ei ole | Englanti | |
| Kirja | Micromechanical Sensors | Remco J. Wiegerink, Miko Elwenspoek | Springer Verlag, 2001 | Ei ole | Englanti |
Esitiedot
| Tunnus | Nimi | OP | P/S |
| MIT-1010 | Mittaustekniikka | 5 | Suositeltava |
| MIT-4010 | Anturifysiikka | 7 | Suositeltava |
| MIT-4030 | Mikroanturit | 5 | Suositeltava |
Huomautuksia
Opintojaksokorvaavuus
7504030 Piianturien suunnittelu
| Viimeksi muokattu | 04.03.2005 |
| Muokkaaja | Heikki Jokinen |