Opinto-opas 2009-2010
Jatko

Perus Pori KV Jatko Avoin

|Tutkinnot|     |Opintokokonaisuudet|     |Opintojaksot|    

Opinto-opas 2009-2010

MIT-4050 Piianturien suunnittelu, 7 op
Design of Silicon Sensors

Vastuuhenkilö

Jukka Lekkala

Toteutuskerrat

  Luentoajat ja -paikat Kohderyhmä, jolle suositellaan
Toteutus 1


Per 4, 5 :
Perjantai 9 - 12, SH108

 
Automaatiotekniikan koulutusohjelma
Jatko-opiskelijat
Konetekniikan koulutusohjelma
Sähkötekniikan koulutusohjelma  


Suoritusvaatimukset

Hyväksytysti suoritetut harjoitukset ja tentti (7 op) sekä vapaaehtoinen harjoitustyö (+ 1 op).
Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan

Opetukseen ja oppimiseen liittyvät periaatteet ja lähtökohdat

-

Osaamistavoitteet

Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.

Sisältö

Sisältö Ydinaines Täydentävä tietämys Erityistietämys
1. Mikro- ja MEMS-rakenteet, suunnittelu- ja mallinnusperiaatteet, anturien mallinnus- ja simulointimenetelmät, mallinnusohjelmien käyttö  Comsol Multiphysics -mallinnusohjelmisto   
2. Pii anturimateriaalina, piianturien valmistusmenetelmät ja -prosessit, kalvonkasvatusmenetelmät, fotolitografia, märkä- ja kuivaetsaus, esimerkkejä valmistusprosesseista     
3. Erilliskomponenttimalli, energiamenetelmät, kaksiporttiteoria, dynaamiset mallit, elastiset rakenteet mikromekaanisissa piiantureissa, jäännösjännitys, häviöt  Sähkömagneettisten kenttien teoria   
4. Sähköinen, terminen ja magneettinen heräte. Mittauskytkennät, lukuelektroniikka ja kohina.     
5. Esimerkkiantureita, pietsoresistiivinen paineanturi, kapasitiivinen kiihtyvyysanturi, pietsosähköinen gyroskooppi, mikrosiltaan perustuva kaasuanturi.     


Opintojakson arvostelu

Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus määräävät opintojakson arvosanan. Hyväksytty harjoitustyö +1 op.

Arvosteluasteikko:

Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)

Osasuoritukset:

Osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan

Oppimateriaali

Tyyppi Nimi Tekijä ISBN URL Painos,saatavuus... Tenttimateriaali Kieli
Kirja   Micromechanical Sensors   Miko Elwenspoek, Remco J. Wiegerink   3540675825     Springer Verlag, 2001      Englanti  
Kirja   Microsystem Design   Stephen D. Senturia   0-7923-7246-8     Kluwer Academic Publishers, 2001      Englanti  
Kirja   Modeling MEMS and NEMS   John A. Pelesko, David H. Bernstein       CRC Press, 2002      Englanti  
Luentokalvot   Piianturien suunnittelu   Jukka Lekkala   1-58488-306-5     www.mit.tut.fi/MIT-4050/      Englanti  


Esitietovaatimukset

Opintojakso P/S Selite
MIT-1010 Mittaustekniikka Suositeltava    
MIT-4010 Anturifysiikka Suositeltava    
MIT-4030 Mikroanturit Suositeltava    

Tietoa esitietovaatimuksista
Esitietoina vaaditaan Matlab-ohjelman perusteiden hallitseminen.

Esitietoketju (Vaatii kirjautumisen POPiin)

Vastaavuudet

Opintojakso Vastaa opintojaksoa  Selite 
MIT-4050 Piianturien suunnittelu, 7-8 op MIT-4051 Piianturien suunnittelu, 8-9 op  
MIT-4050 Piianturien suunnittelu, 7-8 op MIT-4056 Design of silicon sensors, 7-8 op Vastaavuus 1 = 1  
MIT-4050 Piianturien suunnittelu, 7-8 op ASE-3056 Design of Microsensors, 5 op  
MIT-4050 Piianturien suunnittelu, 7-8 op 7504030 Piianturien suunnittelu, 0 op  

Tarkempia tietoja toteutuskerroittain

  Kuvaus Opetusmuodot Toteutustapa
Toteutus 1 Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.   Luennot
Harjoitukset
Harjoitustyöt
   
Lähiopetus: 0 %
Etäopetus: 0 %
Itseopiskelu: 0 %  


Viimeksi muokattu09.03.2009
MuokkaajaJukka Lekkala